Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, <a href="http://read.ru/id/319984">методы</a> модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.